英文
400-888-0829
半自动晶圆超声扫描检测系统
应用范围
6、8、12寸晶圆键合检测
设备优势
系统内无金属污染，配置微型环境（FFU）封装设计
满足扫描过程的Class2（100级）清洁度要求
配置晶圆自动入水机构
左右双探头同时扫描，提示扫描效率
整体有效扫描范围：420mm×320mm
可依据晶圆尺寸定制晶圆专用载台
主要参数
外形尺寸
1200㎜(L)×1500㎜(W)×2000㎜(H)
探头配置
双探头，分工位扫描
图像分辨率
1~4000μm
超声发射接收带宽
1-500MHz
扫描模式
高精扫描、快速扫描（隔行差值扫描）
三轴平台
大理石平台
XY轴
直线电机、龙门双驱
治具
晶圆专用载具
上下料
半自动，倾斜出入水
洁净度
百级
沪公网安备 31011202013830号