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半自动超声波扫描显微镜
应用范围

IGBT、SiC模组分层检测

半导体芯片封装分层检测

设备优势

配置双侧自动载具入水机构

可根据工件定制专用防水载具或工装

快拆方式可实现工件快速换型

双侧载具或工装可以独立手动或联动自动入水

自动入水方式避免操作人手沾水情况

载具采用倾斜入水方式避免水泡干扰扫描效果

配置双探头双扫描工位

双探头同步扫描,即时成像,提高产线扫描效率

可替换透射模块,实现C/T扫描同步出图

主要参数
整机尺寸
1800×970×1860㎜
样品台(电脑桌)尺寸
1500×750×800㎜
三轴有效行程
整体320×320㎜
最大扫描速度
1200㎜/s
X轴加速度
2G,可手动或自动调整
Z轴移动行程
0-100mm
探头配置
一个或两个C扫描探头安装工位
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