超声波预烧结固晶机SDB-300
应用范围
银烧结的预烧接(预贴)、DTS、Clip
设备优势
银烧结芯片预贴(预烧结)
支持SiC晶圆供给的定点拾取&定点预烧结贴装
UPH较普通预贴装提高50%以上
核心超声部件换能器等自供
主要参数
贴装精度
±10μm@3σ(热压/超声固晶)
UPH
1.32Sec (标准片,pick & place)
贴装区域
300mm(x)*220mm(y)*60(z)
R轴旋转角度
360°,重复定位精度=0.015°
冷贴压力
10~2000gf
热压/超声固晶
2~300N
贴装头类型
超声贴装头(真空吸嘴)
预热温度
BH max. 300℃;Stage max. 200℃
整定时间
≤50ms
上料方式
wafer/waffle pack/tape feeder模块化柔性配置
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