近日,国内功率超声设备首家上交所科创板上市企业——上海骄成超声波技术股份有限公司(以下简称“骄成超声”)在前期推出超声波铝线键合机基础上,正式发布新一代超声波铜线键合机,适用于IGBT模块、SiC模块的铜线绑定电气连接等应用场景,为半导体、LED封装、汽车电子等行业客户提供全新的高性能国产化解决方案。
在半导体后道封装过程中,引线键合机是最关键的工艺设备之一,键合可靠性直接影响半导体器件的整体性能,对键合设备的精度、速度、稳定性要求极为严格。长期以来,全球引线键合机市场几乎被少数国外厂家所垄断。
超声波铜线键合机是适应IGBT、SiC模块发展趋势的高端应用。随着新能源汽车、电力电子行业向智能化加速迈近,IGBT模块产品性能不断提升,对功率、可靠性要求越来越高。在SiC等应用场景中,传统铝线互连已接近工艺极限,业界逐渐采用铜替代铝作为引线材料,降低IBGT功率损耗,提升芯片散热能力,提高模块功率密度和长期运行的可靠性。
作为国家专精特新“小巨人”企业、上海市高新技术企业,骄成超声肩负着突破国产半导体核心装备“卡脖子”的重任。依托多年积累的超声波核心技术平台,加上优秀的键合机研发团队,骄成超声融合机器视觉、运控算法、精密机械、实时软件等多学科技术,在引线键合工艺领域取得关键突破,新一代铜线键合机的键合精度、键合速度、键合力控制精度、焊接线径范围等核心指标已达到或接近行业领先水平。
骄成超声新一代铜线键合机支持8-20mil铜线焊接,并具备多项创新特点和优势:
在提升设备稳定性方面,新一代铜线键合机的Y轴采用龙门双驱控制方式,实现了更好的同步性;圆筒直线电机实现ZR解耦,降低了Z轴负载,减小了焊前冲击;Z轴的运动因为应用了补偿技术而更加平稳。
在保证焊接质量方面,产品配备了先进的焊接质量在线监控系统,能够实时监控焊接品质,并且采用了非破坏性拉力测试技术(ALC),能够及时发现焊接过程中的问题,避免不良品的产生;前后开关的线夹系统使线材不会在劈刀口左右摆动,焊点品质更好;高像素摄像头辅助装置(GBS),可以清晰检测劈刀、切刀、线嘴的位置,让邦头调整更加精准快速。
在提高生产效率方面,产品具备在线压力校准技术,能够快速实现压力校准,随时检测压力大小;根据生产需求可灵活选择料盒式、流水线、模组式等多种自动上下料方式,为客户带来高UPH的收益;单独电机带动PR系统上下移动的设计,兼容不同识别高度,提高了产品的通用性和适应性。
此外,骄成超声新一代铜线键合机的用户界面更加简洁友好,为客户带来更加方便的使用体验。
当前市场竞争日趋激烈,封装厂商希望通过开展降本增效提升效益,采购设备国产化率大幅提升。骄成超声紧跟市场需求进行产品布局,在半导体行业已推出超声波键合机(铜线/铝线)、端子超声波焊机、Pin针超声波焊机、超声波扫描显微镜(SAT)等产品系列,并获得多家行业知名客户的正式订单。
未来,骄成超声将持续推进关键核心技术攻关,积极研发新技术、开发新产品、布局新应用领域,不断提升自主创新能力和行业引领能力,为上海乃至全国高端装备制造业的不断发展注入新动能。